日前,從北京傳來了溫控專家何茂棟榮獲2022年度全國五一勞動獎章的消息,壽寧縣托溪鄉江山村家鄉的全村人民無不受鼓舞,紛紛伸出母指稱贊. 何茂棟,北控集團所屬北京京儀自動化裝備技術股份有限公司產品部技術總監,正高級工程師。獲“亦麒麟”科技創新領軍人才、北京優秀青年工程師、2020年北京市勞動模范、中國自動化學會杰出自動化工程師等榮譽稱號,多次榮獲省部級科技獎。2022年,獲得全國五一勞動獎章。 從業20年,何茂棟參與了許多溫控技術攻關的工作。2002年,開始參與硅單晶爐智能溫控系統的開發,這是一種被國外少數大企業壟斷的技術,是太陽能設備性能提升、技術升級的重要基礎之一。2014年,他又參與了芯片刻蝕中的溫控技術攻關。8年后,他們自主研發的智能技術已經實現了產業化布局,盡管只是芯片技術眾多環節中的小小一環,但也彌足珍貴。 何茂棟博士,他長期致力于集成電路領域高端裝備的設計開發及國產化應用,先后參與國家863項目“VB法大直徑砷化鎵單晶爐和退火爐研制”、國家科技重大專項子項目“磷化銦CZ-50型高壓單晶爐研制”、北京市發改委重點項目“多晶鑄錠生長與加工設備研發及產業化”、北京市科委“多通道低溫溫控設備設計開發”等多個重點項目的研究開發。2014年加入集成電路專用溫控設備項目組,帶領技術團隊攻堅克難開發出多通道、高精度、寬溫度、大負載的20多種型號的溫控設備。他開發的溫控設備,采用先進的智能控制算法對溫度進行精密控制,溫控精度優于國際同類產品,溫控設備的成功開發打破國外廠家的技術壟斷,達到國際先進水平,解決了集成電路制造領域專用溫控設備長期被國外壟斷及“卡脖子”的問題,填補了國內空白。集成電路專用溫控設備能夠滿足國內外主流半導體刻蝕工藝設備的要求,被銷往中芯國際、長江存儲、華力、武漢新芯等集成電路制造廠,得到批量推廣應用,使得國內市場占有率超過50%,創造經濟效益超過10億元,成功地實現了國外進口高端溫控設備的國產化替代,促進了國內集成電路制造領域健康良性發展。在此期間,他發表論文7篇,獲授權專利52項,軟件著作權15項,10次榮獲省部級科技獎及榮譽獎。 |